（1）鋼表面保持非常潔凈，因?yàn)闆]有氣體的相互反應(yīng)，真空環(huán)境下碳更快地到達(dá)鋼的表面。

　　（2）滲可進(jìn)行高溫滲碳，所以適當(dāng)提高滲碳溫度，可大大縮短滲碳時(shí)間。

　　（3）因低壓真空滲碳的控制系統(tǒng)能對(duì)滲碳工藝進(jìn)行精確控制，因此所處理工件有良好重復(fù)性，且工件變形小，表面光亮，無需滲碳后再進(jìn)行機(jī)械加工。

　　（4）真空滲碳技術(shù)有更大的靈活性，其設(shè)備可以作為獨(dú)立設(shè)備，也可以與冷加工連成一條生產(chǎn)線。設(shè)備本身既可以是周期式的，適合小批量，多品種的生產(chǎn)情況。也可以是連續(xù)式由多個(gè)加熱滲碳室、氣淬室、油淬室、進(jìn)出料室、真空系統(tǒng)、工件自動(dòng)運(yùn)輸系統(tǒng)等組成，適合大批量生產(chǎn)情況。另外，開爐、停爐非常簡(jiǎn)單，每爐開爐只需0.5h即可進(jìn)入工作狀態(tài)。

        （5）真空滲碳爐采用冷壁真空技術(shù)，無點(diǎn)火裝置，無失火危險(xiǎn)，無污染，潔凈，安全，設(shè)備操作簡(jiǎn)單，維修容易。